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四氟化碳 CF4

发布者::admin  发布时间: :2010-08-29 21:16  浏览次数: :
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详细说明:

 

四氟化碳(CF4) 
又称四氟甲烷、全氟化碳无色、无味、不燃烧的压缩气体。氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。
气体纯度:99.999%       包装:40L钢瓶          压力:30Kg/
相对分子质量:88.01     CAS号:75-73-0     危险性类别:第2.2     不燃气体化学类别:卤代烷
理化性质
熔点(>) –183.6                               沸点() –128.0        相对密度(=1) 1.61(-130
 饱和蒸气压(kPa) 13.33(-150.7)  临界温度() –45.5   临界压力(MPa) 3.74  
 
存储注意事项: 四氟化碳是不燃性压缩气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。
 
四氟化碳安全防护四氟化碳是一种不燃烧的无色、无味的压缩气体,充装于钢瓶中,压力2000 psig。当其含量增加至氧气含量低于19.5%导致窒息。接触液体会引起冻伤。避免呼吸气体。四氟化碳泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。在救护工作中需配备自吸式防毒面具。四氟化碳应与易燃或可燃物分开存放。
相关链接:
               四氟化碳的理化性质
 
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