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电子混合气体

发布者::xiexingzhuang  发布时间: :2010-11-05 13:04  浏览次数: :
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详细说明:

电子混合气体:

电子混合气体广泛用在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)、半导体和电子器件生产与加工过程中,主要用于气相外延(生成)、化学气相淀积、掺杂(杂质扩散)、各类蚀刻和离子注入等工艺中。所以又可分为:外延生长用混合气、化学气相沉积用混合气、蚀刻混合气、掺杂混合气、离子注入混合气。

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                  电子混合气种类及组分列表

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